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リチウムイオン電池/全固体電池向けリークテスター
大気圧下でのリチウムイオン電池/全固体電池の洩れ検査装置の開発を進めています。
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He回収精製装置
リークテスターで使用したヘリウムを効率よく回収、再利用するHe回収装置と、回収したガスからHeを分離し、さらなるHeの有効利用を図るHe精製装置を開発しています。
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次世代リークテスター
検出ガスにアルゴンガスを使用した低ランニングコストのリークテスターです。ヘリウムガスの供給価格高騰によるランニングコストの増大に悩まされることがありません。